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Comunicado de prensa

ORION NanoFab de ZEISS recibe el galardón Microscopy Today Innovation Award 2013

ORION NanoFab de ZEISS recibe el galardón Microscopy Today Innovation Award 2013

La plataforma de haz de iones múltiple de ZEISS proporciona nuevas soluciones para los desafíos que presenta la nanofabricación

JENA/Alemania, INDIANÁPOLIS/EE. UU., 15 de agosto de 2013

ORION NanoFab de ZEISS recibe el galardón Microscopy Today Innovation Award 2013 en la Feria Microscopy & Microanalysis de Indianápolis. La revista Microscopy Today otorga cada año este galardón a las técnicas e instrumentos que desempeñan un papel decisivo en el progreso del campo de la microscopía.

ORION NanoFab es una herramienta de nanofabricación que integra haces de iones focalizados de helio, neón y galio en una sola plataforma. Los haces de iones de helio y neón están basados en la tecnología GFIS (tecnología de gas de iones). El mismo instrumento también proporciona un haz de iones focalizado (FIB) de galio tradicional, ideal para retirar grandes cantidades de material y la creación de prototipos de estructuras a las que no afecta la implantación del galio. "ORION NanoFab es una verdadera plataforma de haz de iones múltiple que permite a los usuarios elegir entre tres haces de iones (helio, neón y galio) en función de la aplicación en cuestión. Estamos muy agradecidos por el reconocimiento que el producto ha recibido por parte de Microscopy Today", afirma Dr. Mohan Ananth, Jefe de Gestión de producto para microscopía de haz de iones de ZEISS.

Para aplicaciones emergentes en las que es importante que el tamaño sea inferior a 10 nm. o no es posible la implantación de galio, los usuarios pueden cambiar a los haces de iones de helio o neón en ORION NanoFab. Una vez finalizada la nanofabricación, se pueden crear imágenes de las muestras en alta resolución en la misma máquina sin necesidad de retirar la muestra. ORION NanoFab permite a investigadores y empresas crear prototipos de dispositivos en unos pocos pasos y sin contaminación, utilizando haces de iones de helio o de neón. Los resultados se han demostrado en las siguientes aplicaciones: nanoporos para aplicaciones de bionalálisis, diseños de patrones de nanocintas de grafeno, captura de imágenes de pizarra y carbón para recuperación de gas y petróleo, litografía de haz de iones, dispositivos plasmónicos y tareas de edición de circuitos semiconductores.

 

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